一、联盟基本情况

　　光刻设备产业技术创新战略联盟(以下简称：光刻设备联盟)于2010年11月5日成立并召开了首届理事会第一次会议。首届理事会由25家单位组成，其中企业单位12家、高校6家、研究所7家，上海微电子装备有限公司为首届理事会理事长单位，上海集成电路研发中心有限公司等十家单位为首届理事会副理事长单位，并成立了首届联盟专家委员会。光刻设备联盟依托理事长单位上海微电子装备有限公司建立了联盟秘书处。联盟秘书处现有秘书长和副秘书长各一人，专职秘书一人。2012年光刻设备联盟被科技部批准为国家试点联盟。

　　联盟成员共同承担了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目9项，开展凸点封装光刻机、干式投影光刻机、浸没光刻机和EUV光刻机整机等集成电路最关键制造装备的研发，其中凸点封装光刻机实现了批量销售，进入台湾市场，具备与国外同类产品竞争能力，并被列为国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”标志性成果。

　　在2012年第十四届中国国际工业博览会上，光刻设备联盟成员单位获得“2012中国工博会”4个金奖中的两个，联盟成员单位上海微电子装备有限公司的“先进封装光刻机”及沈阳新松机器人自动化股份有限公司的“全数字化机器人智能制造系统”均荣获金奖。

　　二、联盟产业技术创新活动

　　1、正在组织编写创新支撑体系研究报告

　　从2012年11月开始，光刻设备联盟与集成电路封测产业链技术创新联盟共同承担了中国工程院专题《装备制造产业技术创新支撑体系建设研究》中子专题《集成电路装备制造产业技术创新支撑体系建设研究》，正在组织编写了《集成电路装备产业技术创新支撑体系研究报告》，已经从全国有关微电子企业、高校和研究所组织专家成立了研究报告编写组，并在2013年1月5日召开了编写组会议，预计2013年3月份完成讨论稿，2013年6月定稿。

　　2、召开了国产光刻机市场与应用研讨会

　　为了推进国产光刻机的研发与应用进程，充分了解IC制造业对国产光刻机的需求，完善国家02科技重大专项的光刻机发展路线图，光刻设备产业技术创新战略联盟于2012年11月8日在上海微电子装备有限公司召开国产光刻机市场与应用研讨会。会议由联盟秘书长李小平主持。来自中芯国际、上海华力、华虹NEC、上海先进半导体、复旦大学、上海市集成电路行业协会、上海光机所、上海微电子装备有限公司8家单位的专家参加了会议。座谈会围绕国产光刻机技术与产业发展路线，国产光刻机客户与市场应用进行了讨论。

　　3、组织参加联盟成员承担的国家项目进度会议

　　联盟成员共同承担了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目9项，开展凸点封装光刻机、干式投影光刻机、浸没光刻机和EUV光刻机整机等集成电路最关键制造装备的研发，联盟成员共同承担了整机及关键零部件系统的研发，每个季度召开季度例会，开展技术讨论和协调研发进度。光刻设备联盟秘书处参与季度例会的组织和协调。

　　4、建立了联盟专利数据库系统

　　为了加强光刻设备产业技术创新战略联盟知识产权的管理，使联盟成员单位掌握知识产权动态，促进知识产权应用和扩散，全面提高知识产权创造、运用、保护和管理能力，联盟委托上海微电子装备有限公司组织开发了《光刻专利情报与战略管理系统》(以下简称“IPS”)，已正式投放运行。IPS以通用商业专利库为收录信息源头，增设了一系列用于分析管理的著录专栏，使记载的专利信息更加全面地反映了相关行业的专利分布特征，在此基础上，开发了组合查询、分类统计、关键字提炼、检索式构建、前后引搜索等信息运用功能，使行业内相关企业在开展专利情报调查、跟踪关注竞争厂商专利申请布局、技术路线分析、专利战略制定、专利资产管理等工作得到有效的支持。

　　5、组织联盟成员单位员工培训

　　光刻设备联盟第二次培训班于2012年8月13日至14日在上海太阳岛度假酒店举行。光刻设备联盟邀请上海微电子装备有限公司质量保证与过程改进部经理杨锋力担纲本次培训班的讲师，来自联盟的9家成员单位，共29名相关人员参加了培训。本次联盟培训共分为四个培训课题，培训内容涉及项目策划、需求工程、系统设计、样机试制等方面。本次培训工作，以讲师主讲和参会人员分组讨论相结合的方式，帮助参会人员进一步了解产品开发流程，提高了参会人员的项目策划过程与管理能力、需求开发与需求管理能力、系统设计与设计变更能力，同时增加了联盟成员间之间的互相了解和深入的沟通。本次培训工作前期准备充分，培训课堂互动氛围热烈，达到了预期的培训效果。

　　6、出刊简讯

　　光刻设备联盟筹办了自己的《简讯》，主要介绍国家有关光刻设备发展的政策和法规、联盟活动动态、02专项进展情况、光刻设备技术与产业全球动态、联盟成员单位的研发与经营活动等，实现信息在联盟成员间的快速传播和共享。《简讯》由联盟秘书处负责组织编写出刊，每6个月一期，每年的6月和12月正常出刊，至今已经出刊4期。

　　四、联盟运行模式及机制

　　光刻设备联盟依托理事长单位(上海微电子装备有限公司) 的管理资源，精简高效地开展各项工作，联盟内部组织构架设置紧紧围绕光刻设备的技术特征，建立了一套科学的管理系统来管理联盟业务，控制可能的联盟风险，完善与创新产学研战略联盟的机制，形成联盟可持续发展的运行模式与机制，具体如下：

　　1、共同研发、利益共享。分系统或单元因技术难度高，需要大量的研发投入，难以找到合作企业，一般先择与联盟中的高校与研究所合作，由国家、地方共同投入研发;高校和研究所，参与研发分系统和单元技术，承担研发技术风险，一旦研发的分系统和单元技术成熟，通过成立企业，转化为相应部件的长期供应商;联盟中的企业参与零部件的技术攻关，一旦性能满足要求，转为长期供应商。

　　2、优势互补，形成全面解决方案。过去联盟成员面对同一客户，产品独立销售，难以与国外产品形成配套，产品市场竞争力不强，不易被客户接受;联盟成员组织联合攻关，解决产品间的配套问题，减少客户使用的风险，通过相互间的技术互补，为用户提供完整的技术解决方案，从而提供市场竞争力;正在形成先进封装中光刻、IC前道光刻的全面解决方案。

　　3、加强知识产权的具体实施工作，构筑专利池，产权保护与转让并举。光刻设备是技术密集型、资金密集型、劳动密集型，除了产品性能、企业并购外，知识产权诉讼是同行之间竞争的常用手段;按照技术和利益相关原则，建立联盟专利池，维护共同的利益，降低我国光刻设备参与全球市场竞争过程中的知识产权诉讼风险;围绕IC光刻机、平板显示光刻机建立专利池，将零部件供应商与专利池联系起来;建立具有市场应用前景衍生技术的专利池，如激光干涉测量仪专利池、磁浮平面电机专利池，实现产品参与市场竞争的保护和为技术转让奠定基础。

　　五、联盟常设执行机构情况

　　光刻设备联盟依托理事长单位上海微电子装备有限公司建立了联盟秘书处,联盟秘书处现有秘书长和副秘书长各一人，专职秘书一人。联盟秘书处自联盟组建起，先后制定并实施了《光刻设备联盟经费管理办法》、《光刻设备联盟项目管理办法》、《光刻设备联盟知识产权管理办法》。

　　联盟经费由理事会授权秘书处所在单位负责专款专用，实行独立的财务预决算管理。严格执行国家规定的财务管理制度，接受经理事会确认的会计事务所审计和报理事会审查。目前，各成员单位按照联盟协议，相继投入了活动经费，秘书处全部用于联盟开展的各项活动、技术研讨、创新服务，以及与联盟工作有关的公用办公、专项工作和日常管理等开支。

　　作为联盟的常设执行机构秘书处执行联盟大会及理事会决议，负责联盟成员单位的日常组织和协调工作。联盟自筹建以来，每年都组织召开了1次以上理事会议，会议主要审议联盟工作报告和下一年度工作计划要点等。

　　六、存在问题

　　1、进一步推进联盟制度化和规范化建设

　　进一步完善联盟的组织构架，确保联盟理事会、专家技术委员会、秘书处的有效运行;根据联盟运行和形式发展，完善联盟理事会、专家技术委员会、秘书处等的运行和工作制度，强化联盟秘书处的日常运行。不断优化项目运行与管理机制，建立联盟承担国家科技计划项目的机制，完善项目管理办法和经费管理方法，积极开展技术研发，加快成果转化，培养技术和管理人才，改善技术创新管理水平。进一步探讨联盟未来发展问题，推进联盟的组织化、制度化、规范化等问题。

　　七、下一步工作计划

　　1、继续组织实施国家科技重大专项任务，提升产业创新能力

　　组织实施好 “极大规模集成电路制造装备及成套工艺” 国家科技重大专项，继续推进前道光刻机项目、先进封装光刻机项目等，为现代先进制造装备提供技术支撑。

　　2、积极推进联盟的相互合作，形成上下游供应链

　　为了更好地发挥光刻设备产业技术创新联盟在行业中的引领作用，形成优势互补，优化创新资源要素，突破行业技术难关，要不断加强联盟成员间的相互合作，资源共享，形成产业链技术创新支持平台。同时通过分工协作，建立完整的光刻设备关键技术研发体系和关键零部件供应链体系。

　　3、积极发挥产学研合作优势

　　发挥联盟的产学研用合作优势，研发完成完整的光刻设备系列产品，支撑我国集成电路产业的发展。

　　光刻设备产业技术创新战略联盟

　　二〇一三年三月十八日